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钽酸锂-异质压电单晶薄膜

产品详情

300-900 纳米 钽酸锂单晶薄膜

顶层器件层

尺寸

3, 4, 6 英寸

切向

 Y-42, Y-46.3, Z切等

材料

钽酸锂

厚度

300-900 纳米

埋层

材料

二氧化硅

厚度

300-4000 纳米

基底

材料

厚度

400-500 微米


应用方向

 

· 声表面波滤波器       

· 高Q值、大带宽 、温度补偿


钽酸锂-异质压电单晶薄膜
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