钽酸锂-异质压电单晶薄膜
产品详情
300-900 纳米 钽酸锂单晶薄膜 | ||||
顶层器件层 | ||||
尺寸 | 3, 4, 6 英寸 | 切向 | Y-42, Y-46.3, Z切等 | |
材料 | 钽酸锂 | 厚度 | 300-900 纳米 | |
埋层 | ||||
材料 | 二氧化硅 | 厚度 | 300-4000 纳米 | |
基底 | ||||
材料 | 硅 | |||
厚度 | 400-500 微米 | |||
应用方向
· 声表面波滤波器
· 高Q值、大带宽 、温度补偿
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